技术编号：5631088
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分的真空阀，该真空阀用于中断、释放或调节沿着真空阀的内部区域中的流道流动的介质流。背景技术现有技术公开了真空阀的各种实施方式，它们具有穿过阀壳体延伸的阀通道，该阀通道可通过阀关闭件以气密方式关闭。特别地，在集成电路(IC)和半导体生产中使用不同的真空阀，这必须尽可能在没有任何污染微粒的受保护的环境中进行。例如，在用于生产半导体晶片或液晶基板的设备中，高度敏感的半导体元件或液晶元件依次穿过多个处理室，其中位于处理室内的半导...
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