技术编号：5633104
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及以非接触方式可旋转或可直线移动地支撑部件的流体轴承。 背景技术在作为静压流体轴承的空气轴承中，从流体喷出口向轴承面间的数μ m的微小间隙送入压缩空气。公知有，通过在空气的喷出口的周围形成槽状或凹窝状的深度数Pm的轴承凹面，从而轴承刚性变为数倍。若轴承凹面的深度过浅，则轴承刚性降低，若轴承凹面的深度过深，则流体轴承的流体的流量增加，产生微小振动。这样，由于轴承凹面的深度方向的精度对空气轴承的性能给予很大影响，因此要求高精度的加工。作为作成流体轴承的...
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