技术编号：5636811
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及气浮垫，尤其涉及一种用于气浮轴承的气浮垫。 背景技术气浮轴承是超精密测量与加工系统的关键部件，它具有清洁、无摩擦等优点。随着纳米技术、先进光学器件及集成电路等气浮轴承应用领域的发展，对气浮轴承的静态性能及定位精度提出了更高的要求。刚度特性是衡量气浮轴承的重要指标之一，影响刚度特性的一个重要因素为气膜厚度，从气浮轴承的刚度与气膜厚度的关系曲线可以看出，随气膜厚度增大气浮轴承的刚度为一条先增加后减小的曲线，因此，存在最佳气膜厚度值使气浮轴承的刚度达到...
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