技术编号：5637245
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种根据权利要求1前序部分的梭阀(shuttle valve)，该 梭阀通过使阀盘在幵口上旋转并将该阀盘压在包围该开口的阀座上来基 本气密地阻断流路。在US 6,089,537 (Olmsted)中描述了这样的阀。背景技术在现有技术中公知开头所提到类型的阔的各种实施方式，并且这些 阀特别用在IC及半导体制造领域，IC及半导体制造必须在尽可能没有污 染颗粒的受保护环境中进行。梭阀例如用于控制或调节加工腔室和真空 泵之间的气流，并例如用作为隔离阀或控...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。