技术编号：5637252
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空阀，该真空阀包括具有气门孔和将所述气门 孔包围的阀座的阀体、阀板、承载着所述阀板的阀杆、横向驱动单元 和纵向驱动单元，其中所述气门孔具有纵轴线，所述阀板可以从张开 位置经过中间位置调节到抵靠着所述阀座的闭合位置中并且可以从所 述闭合位置经过所述中间位置调节到所述张开位置中，在所述张开位 置中所述阀板释放所述气门孔，在所述中间位置中所述阀板覆盖所述 气门孔但从阀座上抬起，并且其中借助于所述横向驱动单元可以将所 述阀板沿横向于所述气门孔的纵轴...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。