技术编号：5646053
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种布置成在波纹管收缩和伸长时打开和关闭的真空阀。背景技术迄今为止，例如在半导体制造系统的CVD装置中，通过反应腔室 的入口端口将由用于薄膜材料的成分构成的材料气体供应到反应腔室 内的晶片上，该反应腔室为真空容器。同时，通过真空泵从该反应腔 室的出口端口将气体排出该反应腔室，从而将该反应腔室维持在真空下。材料气体的排出速度由例如蝶形比例阀控制。然而，这样的蝶形 比例阀不能完全阻塞管道。因此，与该蝶形比例阀相串联地布置有开/ 关真空阀，以完全阻断管...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。