技术编号：5650558
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种机械式隔振装置，具体涉及一种单自由度超低频垂直 隔振装置。背景技术在精密制造和精密测试过程中，环境及设备的振动对加工精度和测试 结果有很大的影响，特别是在微制造技术快速发展的今天，超大规模集成 芯片生产、超精密加工、超精密测量等，对设备的隔振提出更加严格的要 求。目前，工程中常用的隔振材料主要有橡胶、软木、刚性弹簧等；常用 的隔振系统有橡胶隔振系统、金属弹簧隔振系统、空气弹簧隔振系统等。 橡胶隔振系统有一定的强度、弹性和阻尼，对中高频振动隔离...
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