技术编号：5655328
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的快速接头，包括接头母体和与之适配的插头，接头母体包括中空的接头主体、套筒和弹簧，接头主体的前端设有环形凹槽，环形凹槽的底面上设有滚珠通孔，滚珠通孔内设有滚珠，套筒和弹簧套设于环形凹槽部位，套筒的内壁设有可挤压滚珠使其突出于接头主体内壁的凸缘，弹簧两端分别抵住套筒的凸缘和环形凹槽的侧槽壁；插头外侧设有与滚珠配合的凸起。本发明快速接头可实现工艺冷却水系统用水管快速便捷的断开和接合，断开水管后，即可对水管中的水垢进行清...
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