通过线性移动以气密方式闭合流动路径的真空阀和闭合构件的制作方法技术资料下载

技术编号:5656407

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本发明涉及用于通过线性移动以气密方式闭合流动路径(F)的真空阀(1),该真空阀包括闭合构件(5),其可线性地移位;阀外壳(2)的第一密封面(10),该第一密封面闭合开口(3);以及,闭合构件(5)的第二密封面(11),该第二密封面对应于第一密封面(10)。在闭合位置(C),第二密封面(11)与第一密封面(10)密封接触,所述接触在闭合方向(8)上压到第一密封面(10)上,并且闭合构件(5)以气密方式闭合开口(3)。在开口(3)与第一密封面(10)之间的区域...
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