技术编号：5660152
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种活动阀门，用于隔离真空处理腔室与真空传输室，真空处理腔室中设有一晶圆箱，用于放置晶圆，真空传输室中设有一机械臂，用于通过连接通道传输晶圆，活动阀门包括一常闭门体，设于连接通道中并与其密合，门体至少包括一受磁部件，受磁部件设置于门体一活动端部；一电磁转换单元，固接于连接通道上远离受磁部件的一面，其通电后产生磁吸力作用于受磁部件而带动门体打开。该活动阀门以及使用该活动阀门的真空处理系统结构简单、实施便利。专利说明活动阀门、活动屏蔽门及真空处理系统...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。