使用轴封机构的驱动装置制造方法技术资料下载

技术编号:5662236

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本发明提供一种使用轴封机构的驱动装置,不因密封材料、密封部件的移动而产生磨耗,所以,能保持高密封性能,而且,可用简单的内部构造切换流体的密封状态和非密封状态,可以使预定流量的流体流过,而且,用外部电信号等的量来调节密封材料的膨胀量,通过调节接触面压力,可以高精度地控制流体的泄漏量,可用于所有用途。本发明的轴封装置,在设在本体(10)内部的轴封部(15),配设通过电的外部刺激而膨胀收缩、变形的高分子材料制的轴封体(20),并且,在轴封部(15)设有流路(13...
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