一种主动式气浮支承装置制造方法技术资料下载

技术编号:5688852

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本发明公开了一种主动式气浮支承装置,包括气浮支承本体、气膜主动调节单元、支承本体检测单元和驱动控制单元,其中支承本体检测装置测量气浮支承的状态,驱动控制系统根据检测信号生成控制信号,驱动控制气膜主动调节装置产生主动作用,动态调节气浮支承表面的气膜形态,由此动态调整气浮支承装置的气膜间隙压强分布,从而提高气浮支承的动刚度特性。通过本发明,能够显著提高气浮支承的动刚度特性,并达到稳定气浮支承的目的;此外,按照本发明的主动式气浮支承装置还具备结构紧凑、便于操控和...
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