技术编号：5689166
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种，属于精密驱动。包括功能平台、压电驱动模块、弹性板和静平台，所述功能平台用于承载定位物体并与压电驱动模块连接；所述压电驱动模块包括2个压电叠堆、位移放大机构、连接板、固定螺栓以及预紧力螺栓；所述弹性板通过固定螺栓与压电驱动模块连接；所述静平台作为弹性板的支撑平台，设置在弹性板下方。通过对设置在弹性板上的组呈正方形排列的压电驱动模块分别施加特定的驱动信号，可在弹性板上激发出不同方向运行的行波，从而实现功能平台的三自由度的运动。本发明避免了传统...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。