真空系统的制作方法技术资料下载

技术编号:5689597

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本发明涉及一种真空系统,其具有至少一个真空泵和至少一个容器,其中在真空泵和容器之间设置可拆性的连接部,同时在大气侧设置至少一个弹性密封件并且在真空侧方向上设置至少一个间隙密封件用于密封所述连接部,同时在弹性密封件与间隙密封件之间设有至少一个抽吸通道和/或至少一个抽吸口。专利说明真空系统[0001] 本发明涉及具有至少一个真空泵和至少一个容器的真空系统。[0002] 用于真空用途的密封元件在现有技术(DE2416808A1)中是已知的。所述密封元件 由金属制...
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