技术编号：5691157
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种超长行程高加速高精密定位一维平台，包括底座，直线电机动子，粗定位平台，压电致动器，高精密定位平台，第一直线电机定子，第一缓冲连接板，第二直线电机定子，第二缓冲连接板。粗定位平台通过压电致动器连接高精密定位平台，粗定位平台与所述超长行程直线电机定子连接，第一超长行程直线电机定子与第二超长行程直线电机定子串联连接，第一缓冲连接板与第二缓冲连接板通过串联连接来实现粗定位平台超长行程，第一超长行程直线电机定子通过第一缓冲连接板与大理石底座连接，第二...
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