技术编号：5697118
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了电感耦合等离子体质谱仪真空阀门，包括基座，所述基座具有待密封封口，且具有第一腔室及第二腔室；具有前后伸缩部件的动力源装置；滑动系统；封闭装置等;本发明采用开合结构，通过开合来实现静态和动态真空，并且开启时，进气量很小，满足检测需要。同时此结构简单，可通过软件控制，运动顺畅，更适合于仪器整体化设计，装配简单，智能化程度高，满足高真空要求等。专利说明一种电感耦合等离子体质谱仪真空阀门 [0001]本发明涉及质谱仪设备领域，具体来说，涉及一种电...
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