技术编号：5697306
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种放气系统，该放气系统包括放气阀(1)、缓冲板(2)、锁室(3)以及盖板(4)，其中，所述盖板(4)用于封闭所述锁室(3)，所述放气阀(1)贯穿所述盖板(4)并能够控制打开或关闭；所述缓冲板(2)固接于所述锁室(3)的内部，且止挡所述放气阀(1)冲入的气体。该放气系统可以在不破坏基片的前提下快速把系统回复到大气状态。专利说明放气系统 [0001]本发明涉及一种放气装置，具体地，涉及一种放气系统。 背景技术 [0002]在现有技术中，...
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