技术编号：5703836
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及连接于真空腔和真空泵之间，为了使真空腔内的压力缓慢阵低到真空压力而使用的真空排气阀。背景一般在半导体的制造工艺中，在用真空泵把放置有应处理的半导体晶片的真空腔内的内部压力降低至真空压力的情况下使用真空排气阀。一般，这种真空排气阀具有用于连接上述真空腔的腔口、用于连接真空泵的泵口、设置在连结这些口的流道中的阀座、开闭该阀座的阀体和、开闭驱动该阀体的活塞，通过空气压的作用使活塞动作而打开上述阀体，用真空泵排出上述真空腔内的空气，从而将该真空腔的内部压...
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