技术编号：5729328
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及密封件。该密封件在真空泵中获得特殊但不专用的用途。 背景技术真空泵被认为在其泵腔内无油并因而在洁净制造环境如半导体行业中是有 用的。这些干式真空泵一般是在每个泵级中采用相互互啮合转子的多级容积式 泵。这些转子可以在每级中有相同的型线或者其型线可以在级与级之间变化。在罗茨或Northey ("爪型")型干式真空泵中，该定子基本上由许多单独的 定子元件构成，这些转子位于在这些定子元件之间所限定的泵腔中。因此有必 要在这些定子元件之间提供密封以阻止泵送...
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