技术编号：5729777
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及传到高真空腔室内的蒸气接收装置的蒸气的产生及传送。本发明还涉及 可离子化蒸气到卨电压离子源的传送，所述卨电压离子源提供在半导体装置和材料的制造中用-"T离子植入的离子束。本发明具有与用于气化及离子化形成分子离子(其含有相 关物质的多个原子)的材料的系统及方法的特定相关性。背景技术在工业中，常常需要将以蒸气形式的高毒性不稳定材料传送到高真空系统内的装置 或衬底材料。必需周期性地服务所述装置以进行零件的清洁或替换，且再填或替换充蒸 气源及执行维护服务...
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