技术编号：5736086
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种真空管路，它包括由振动阻尼器连接的两个管路部件。背景技术在真空中，特别是在避免或必须避免将由真空泵产生的振动传递至连接的例如电子显微镜的振动敏感型接收器时，振动阻尼器用来隔离真空连接中的振动。由德国DE 100 01 509A1已知一种涡轮分子真空泵，它包括通过振动阻尼器与泵部件隔离开的高真空法兰。振动阻尼器是带有单独的外部支撑橡胶护套的波紋形的金属波紋管。橡胶护套将 高真空法兰轴向支撑抵靠在泵部件上，并因此相当刚硬.因而，仅在相当有限的长度...
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