流体控制器的制作方法技术资料下载

技术编号:5736198

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本发明涉及被称为减压阀等的流体控制器,尤其涉及其防振性 提高了的流体控制器。背景技术作为流体控制器的振动抑制机构,专利文献1中公开了一种流 体控制器,在将流体控制器内部划分成阀室和调节室的隔膜的阀室 侧设置有阀座和阀体,在隔膜的调节室侧设置有压力设定弹簧,其 中,在隔膜与压力设定弹簧之间夹装有可使整体的弹簧常数和重量 变化的防振用弹簧。专利文献l日本特公平4-13586号公才艮(图1 ) 但在上述专利文献1的流体控制器中,防振用弹簧的增加具有与改变压力设定...
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