技术编号：5737313
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在真空处理装置间或者真空处理装置与真空排气泵间使用的真空闸 阀以及使用了该真空闸阀的闸开闭方法。 背景技术在设置与设于排气口的闸密封面密接、闭塞排气口的闸板的情况下，将闸板(阀 体)从排气口退藏时，为了让间板退藏室不侵入、附着异物而设有间板退藏室遮蔽装置。在专利公报特开平7-42872中记载有这样的闸板退藏室遮蔽装置，在形成排气口 的排气通路内设置圆筒型遮板，使其在排气通路内移动，在间板退藏时遮蔽间板退藏室。在专利公报特开平3-239884中记载...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。