技术编号：5737351
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种光刻设备、一种投影系统和一种用于光刻设备中的阻尼器以及一 种制造器件的方法。背景技术光刻设备是一种将所需图案应用到衬底上或一部分衬底上的机器。例如，可以将 光刻设备用在平板显示器、集成电路(IC)以及涉及精细结构的其它装置的制造中。在传统 的设备中，可以将称为掩模或掩模版的图案形成装置用于生成对应于平板显示器(或其它 装置)的单个层的电路图案。可以经由成像到在所述衬底上设置的辐射敏感材料(例如抗 蚀剂)层上，将该图案转移到衬底(例如玻璃板)的...
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