技术编号：5737541
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种闸门阀以及包括至少一个这种闸门阀的真空腔室，所述闸门阀用 于关闭能够进行多种处理步骤(像物理气相沉积、等离子体刻蚀等)的真空腔室壁上的开背景技术从US 5693238A可知一种通用类型的闸门阀，其中托架在纵向上(即垂直方向上) 以及前部(包括鱼卵形开口)的正交方向上可往复滑动，通过在所述正交方向上的运动来 打开和关闭开口，而垂直方向的滑动运动将密封板移动到不与开口重叠的位置上，从而允 许水平方向上经过开口而直接通入。闸门阀的问题在于体积相对较...
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