技术编号：5747201
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种薄膜太阳电池生产中防止气体从管路接头泄漏装置，特别涉及一种防止特殊气体从CGA泄露到环境中的装置，属于机械领域。 二 .背景技术目前，半导体和太阳能电池行业生产所用的危险性气体的气源大都采用由钢瓶组 成的集装格(4x4)或Y瓶供给，通过在供气主管路和钢瓶之间连接BSGS(大宗特气供应系 统)控制气体的流量或压力。按照行业经验，气体泄漏主要发生在经常动作的阀门或接口 部位，为了防止危险性气体泄漏时扩散到环境中，BSGS系统将所有阀门都封闭在...
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