技术编号：5755124
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及真空室模块的领域，并且更特定而言涉及一种与该模块一起使用的改进的狭缝阀(Slit valve) 0背景技术薄膜光伏(PV)模块(也称为“太阳能电池板”)的生产通常涉及将诸如玻璃面板这样的基质(substrate)传送进出气相沉积室，其中，半导体材料的薄膜层沉积在基质的表面上。该工艺通常涉及通过阀输送基质进出一个或多个真空室模块。阀产生锁定(基质通过其而传送)，并且大体上限定槽口，该槽口略大于在阀的打开位置下基质的截面。因此， 该阀在本领域中...
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