新型变速传动装置及采用新型变速传动装置的单晶炉的制作方法技术资料下载

技术编号:5774016

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本实用新型涉及单晶硅生产设备,特别涉及一种新型变速传动装置及采用新型变速传动装置的单晶炉。技术背景单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程的必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业的基础原料。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料。现有的单晶炉都会用到传动装置,在硅单晶拉制过程中,传动装置提供坩埚轴升降、籽晶绳升降高低速切换功能,便于单晶硅晶体的结...
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