承重载大型高稳定自动平衡隔振工作台的制作方法技术资料下载

技术编号:5774369

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本实用新型涉及工作台,尤其是一种适用于高内研究实验用的承重载大型高稳定自动平衡隔振工作台。背景技术承重载的大型隔振工作台,其特色是承重载大型具有高稳定性。所谓稳定性的高低(好,坏),一般由三个因素来评价的一是台子的静态刚度和动态刚度,二是台子的隔振性,三是台子的热稳定性。由于现代光学和激光技术,如全息干涉技术,光谱实验技术和各种精密检测技术的迅猛发展,对承重载大型工作台的稳定性要求越来越高,例如在干涉技术测量中,反射元件的相对位移是用百分之一微米或千分之一...
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