技术编号：5774585
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种与提供给线圈的施加电流所产生的吸引力成比例，控制控制流体的流量的电磁比例阀的流量特性调整机构和使用该机构的流量特性调整方法。背景技术 以往，例如在半导体制造工序中，微细加工发展，利用电磁比例阀精密地控制工艺气体等控制流体。在半导体制造工序中，例如为了防止颗粒的产生，使用瓣式的电磁比例阀。图8是采用瓣式的电磁比例阀100的剖视图。电磁比例阀100在主体101上形成有入口流路102和出口流路103，在其连通部分设置阀室104。在阀室104上设置阀...
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