技术编号：5779000
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及除振台装置，尤其涉及相对于除振对象物被直接或间接设置以除去除振对象物的振动的除振台装置。更为详细而言，涉及在精密设备等中用于抑制来自地面的微振动或由装置主体引起的自激振动的除振台装置。背景技术 在现有技术中，例如在半导体制造装置中制造存储器、IC的情况下，使用具有印相装置的步进装置，应用了电子照相技术而在晶片基板上形成电路。在实际使用步进装置时，为了提高生产效率而有必要迅速且高精度地将晶片基板或者印相装置移动到既定位置来定位。但是，越要进行迅速的...
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