技术编号：5780269
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用以防止设备或管道因超压而发生损坏的阀门，尤其是能够用于正负压变化的中压单晶炉中。背景技术中压单晶炉是用于生产无位错单晶的设备，在其工作过程中需要先将设备抽真空到几帕以下，然后通入惰性气体生长单晶，正常工作时为正压，当压力超过规定压力值时需要安全阀能够快速开启泄压，目前使用的安全阀大多采用锥面密封，密封效果较差，设备真空度较难达到要求。发明内容为了克服现有安全阀密封效果的不足，本实用新型提供一种能适用于有正负压变化的安全阀，其密封效果良好...
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