技术编号：5791430
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于诸如用于半导体制造装置等的金属隔膜阀的改良。背景技术以前，所谓这种金属隔膜阀，正如在特开平8-105554号等记载的那样的阀。该金属隔膜阀20由图4及图5所示的那样，由以下部件构成在流入路21与流出路22连通的阀室23底面上设置有阀座24的阀体25，为保持阀室23的气密性、在阀体25上设置中央部向上膨出的金属隔膜26，使金属隔膜26覆盖压在阀座24上、并使其从阀座24上离开时、金属隔膜恢复自己原来的形状的驱动装置27，在阀室23的下方形成的、与...
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