技术编号：5792803
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及当利用真空泵对真空容器进行真空排气时，以对排气系统进行切换等为目的所使用的真空阀以及构成该真空阀的框体。背景技术以往，作为真空用阀，例如在专利文献1中有所公开。通常如图1所示，这种阀构成为如下的真空用阀其具备通过活塞杆1而在中空圆筒状的框体2内的长度方向上移动的阀体3，并在框体2的长度方向的端面具备通过阀体3开闭的排气口 4，在框体2的侧面立起设置有具备凸缘部的中空圆筒体5，并在其端面形成成为排气口的开口面6，内部流路为L型。在如上所述地在框体2...
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