技术编号：5792995
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。相关申请的交叉引用本申请要求2009年8月17日提交的美国临时专利申请No. 61/234，522的利益， 其内容通过引用并入本文。背景技术本公开涉及阀和半导体机电装置，并且涉及例如被微阀装置(即，微型机械先导阀)定位的压力控制阀等控制阀。MEMS(微电子机械系统)是这样一类系统，其物理上是小型的，具有尺寸处于微米级或者更小(即，小于约10微米)的一些特征或者间隙。这些系统具有电气和机械部件。 术语“微型加工”通常应理解为是指MEMS装置的移动部和三维结构...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。