技术编号：5794412
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请要求2001年7月12日申请的、在此引用作为参考的美国临时申请60/305061的优先权。〔〕本发明涉及一种配件，具体地说，本发明涉及一种可输送腐蚀和高纯净流体且具有多个流动通道的分配头。〔背景技术〕在半导体加工、制药和化学品制造工业中，使用高纯净、高侵蚀和/或高腐蚀性液体。出于安全和质量方面的考虑，必须将这些液体装在高可靠和完整的容器及分配系统中。用于输送这些液体的连接件、管和配件必须由高惰性材料制成。人们发现含氟聚合物适合于在这些环境中使用。管通...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。