技术编号：5795106
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于超精密运动、超精密测量，涉及一种空气静压止推轴承，主要用于光刻机、三坐标测量机等设备中运动部件的设计。背景技术空气静压止推轴承具有无磨损、摩擦小、低速无爬行、运动精度高等一系列优点， 故广泛应用于超精密运动、精密测量领域，但同时也存在刚度低、承载能力小、稳定性差的缺点。现有空气静压止推轴承通常采用小孔节流，高压气体经小孔节流器进入气腔，再由气腔边缘进入轴承间隙；气腔内压力沿轴承间隙逐渐减小，至轴承边缘处压力降为环境压力。一方面由于润滑剂为气体，其...
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