技术编号：5795883
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种阀门(valve)，更具体而言，涉及一种闸阀(gate valve)，所述闸阀在用于处理基板的真空处理设备中开启及闭合用于传送基板的传送通道(passage)。背景技术一般而言，在用于处理基板的真空处理设备中，通过连接至真空腔室的外壁的基板传送通道将基板载入及载出处理腔室。基板传送通道设置有用于开启及闭合基板传送通道的闸阀。阀箱(valve case)可设置于基板传送通道中，并在其正面及背面上包括开口部。 基板即穿过所述开口部。在这种情况下，...
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