技术编号：5799315
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及化学气相沉积的设备，特别是一真空腔室的阀门组。背景技术在太阳能电池的制造过程中有一段程序是必须要将玻璃基板置入一真空腔室中进行化学气相沉积的加工动作，目前的做法都是采取一次一片的加工方式，也就是说在一片玻璃基板进行完化学气相沉积的加工动作并由真空腔室取出后才会再放入另一片玻璃基板来进行化学气相沉积。这样的加工效率实际上并不高，因为真空腔室要有一定的真空度才能进行加工的动作，而要保持一定的真空度就必须花时间在抽气上，所以真空腔室每打开一次就必须要再...
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