技术编号：5800824
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于开闭基板的搬出搬入口的闸阀和使用该闸阀的基 板处理装置。背景技术在对半导体晶片等的基板或液晶基板等的FPD (Flat Panel Display平板显示器)基板进行例如蚀刻、成膜等规定处理的基板处 理装置中，具有用于移送基板的基板搬出搬入口，并具有多个在关闭 基板搬出搬入口的状态下内部形成真空气氛的腔室。作为这样的腔室， 例如可以例举有在真空气氛下进行基板的处理的工艺处理室(包括反 应容器)、在真空气氛下搬送基板的搬送室、以及在真空气氛和大...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。