技术编号：5801089
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微电子机械系统，尤其涉及一种微阀以及由其构成的装置。宵京扠不基于微电子机械系统(MEMS)加工技术的微阀是微型流动系统中流 向控制的重要执行元件，主要用于微型化学分析和药物注射，其性能对微泵 的性能有直接影响。微阀按原理一般可分为两种类型主动阀和被动阀两类。 被动阀的工作特点是无需外来的致动力，仅利用流体本身参数的变化，如流 动方向，流动压力等即可实现阀状态的改变。被动阀的体积可大幅度下降至 与芯片匹配的程度，相应加工和集成话难度亦有所降低，但其...
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