技术编号：5801589
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种主动减振系统，尤其涉及了一种用于步进光刻机使用了 预见控制的主动减振系统背景技术超精密的主动减振系统是许多高科技技术与产品开发的^S^出，因而一直受到各国的高度重视。随着超微细加工与装配技术、超精密测量技术的发展， 微振动的影响变得更加突出。步进扫描光刻机在工作过程中，由于工件台和 掩模台等分系统具有较高的运动加速度和运动速度，运动部件在运动过程中 产生的反作用力，以及倾覆力矩将引起光刻机核心部分振动，从而影响曝光质量。现代步进扫描光刻机针对...
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