技术编号：5801830
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种泵、阀、储液器(accumulator)等的流体设备和软管或 配管等的接头的连接结构，详细地说，涉及一种通过使流体设备中的流体的 供排路的周围部分和流体用的接头嵌合连接而将供排路和在上述接头上形 成的流路连通并连接的流体设备和接头的连接结构。背景技术例如，在输送半导体或液晶面板制造装置^f使用的清洗用等药液的流体 系统中，为了防止混入到清洗液或药液等流体路径的杂质侵入泵内部而成为 故障或损伤的原因，多是在药液输送方向上在泵的上游一侧设置过滤器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。