技术编号:5808117
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种填料式氯硅烷冷凝储存设备,用于对多晶硅生产中的含氯硅烷的尾气中的氯硅烷进行回收,所述储存设备包括冷凝器,所述冷凝器的上部具有冷媒入口且下部具有冷媒出口,顶部具有不凝性气体出口;储存罐,所述储存罐设在冷凝器下方且与冷凝器连通,储存罐的中部具有用于通入尾气的热媒入口,底部具有冷凝液出口,储存罐的下部具有氮气接口,氮气接口位于冷凝液出口上方;以及填料式塔板,填料式塔板设在储存罐内且位于热媒入口的上方。根据本实用新型的储存设备,可以起到一定的除...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。