技术编号：5811919
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种气瓶锁头，具体来说是一种BSGS(Bulk special gasessystem大宗特殊气体系统)气瓶CGA接头与工艺管道接口起保护作用的锁头装置。背景技术目前BSGS (Bulk special gases system大宗特殊气体系统)气瓶锁头主要由以 下部分组成，如附图1所示，包括上盖1、工艺气体管道孔5、内筒8、氮气进口接头7和气瓶 伸缩头6，内筒8内置有弹簧并控制气瓶伸缩头6的伸缩，工艺气体管道通过工艺气体管道 孔5穿过该气瓶...
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