技术编号:5811955
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体供给装置,该气体供给装置使液体材料汽化并以规定的流量提供该液体材料汽化后的气体。背景技术专利文献1公开了一种气体供给装置,如图6、图7所示,这种气体供给装置AlOO 在储存有液体材料M的容器Al上设置有液体材料导入配管,用于导入液体材料M ;以及产生气体导出配管,导出汽化后的气体,所述产生气体导出配管与质量流量控制器A2连接, 控制汽化后的气体的流量。所述气体供给装置AlOO通过设置在容器周围的加热器,对容器内的液体材料进行加热来使其汽化...
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