技术编号:5815493
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化学液分配设计,尤其涉及一种不同配比化学液分配系统。背景技术集成电路通常采用半导体晶片来制造,而这种晶片通常是易脆材料制作的,在制作集成电路元器件期间,这些晶片通常要经过若干处理步骤,在处理过程中晶片会暴露于或者承受各种不同配比的溶液的处理,以达到特定效果,而这些不同配比的化学液需经过一个分配系统输送至工作机台。如果化学液分配系统设计的不合理或者不完善,则会导致设备的稳定性及生产效率降低。现有的不同配比化学液分配系统如图1所示,此分配系统中化...
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