技术编号:5815823
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明通常涉及气体存储和分配容器,特别涉及需要连续转换(change over)以向耗气工艺单元提供连续(ongoing)的气体供给的多容器阵列。在具体方面中,本发明涉及包含多个气体存储和分配容器的气柜,以及用于转换容器以保持气体分配操作的连续性的自动切换系统,其中多个气体存储和分配容器向半导体制造设备中的半导体制造工具提供气体。背景技术 在Tom等人的美国专利5,518,528中公开的基于物理吸附的气体存储和分配系统革新了半导体工业中危险气体的传输、供给...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。