一种冗余供气回路的制作方法技术资料下载

技术编号:5817185

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本发明为了解决高压交流电源抗干扰问题及因为双向电动截止阀发生内部泄漏造成异常脱落的故障,提高冷氦连接器脱落的可靠性,提供了一种供冷氦连接器配气的冗余供气回路,包括第一双向电动截止阀、第二双向电动截止阀和两个单向阀,其中,向冷氦连接器提供的气体首先进入第一双向电动截止阀,第一双向电动截止阀的常开出口连接第二双向电动截止阀,第二双向电动截止阀的常开出口连接冷氦连接器的锁紧腔,第一双向电动截止阀的常闭出口和第二双向电动截止阀的常闭出口分别连接一个单向阀,上述两个...
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