用于输油管道泄漏检测系统的声表面波压力传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:5817330

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本发明涉及一种用于输油管道泄漏检测系统的声表面波压力传感器。传感器芯片由对称设置在压电基底上下面上的SAW谐振器构成;液压腔为矩形,在液压腔的底面设有圆槽,在液压腔的上面设有数个与圆槽相通的孔;传感器芯片嵌入在压敏材料的空槽中,压敏材料嵌入在液压腔的圆槽中,液压腔设置在壳体内,安装有螺丝的电路板固定在壳体上并分别与传感器芯片的两个SAW谐振器连接,壳体设置在带有吸盘的胶套内,天线通过螺母与电路板的螺丝螺接。声表面波压力传感器中的两个SAW谐振器,采用了上下...
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